上海闻企电子科技有限公司

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Edwards爱德华STP-IXA2206CV磁悬浮分子泵YTB1-20-010R  117023966
Edwards爱德华STP-IXA2206CV磁悬浮分子泵YTB1-20-010R  117023966
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Edwards爱德华STP-IXA2206CV磁悬浮分子泵YTB1-20-010R 117023966

型号/规格:

STP-IXA2206CV磁悬浮分子泵

品牌/商标:

Edwards爱德华

电压:

230V

价格:

117800.0

产品信息

Edwards爱德华STP-IXA2206CV磁悬浮分子泵YTB1-20-010R  117023966  可将小型电源供给集成到机载控制器内

  • 金属(铝)、钨和电介质(氧化物)以及多晶硅等离子刻蚀(氯化物、氟化物和溴化物)
  • 电子回旋共振(ECR)刻蚀
  • 薄膜沉积CVDPECVDECRCVDMOCVD
  • 溅射
  • 离子注入源,射束线泵送和站

功能与优势

  • 紧凑型设计,包括完全集成的控制器
    • 创新性自传感轴承系统
    • 数字化5轴控制
    • 与现有涡轮泵相比振动级别降低了50%